西安某半导体行业集成电路芯片生导致产制作厂,晶圆生产制作方式中导致含硅、氟的特俗电镀污水,定制正确正确处理大规模1200吨/日。电镀污水组成成分繁多,所含纳米级级硅顆粒及盐酸,传统的正确正确处理办法得以合格。
化工废水化学成分及源头
一般生态破坏物
:胶体溶液硅(100-500nm粒级)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
主要来源工艺流程
:晶圆刻蚀污废渣 (45%)、CMP药剂学机制cnc精密机械加工污废渣 (40%)、机器设备冲干净水(15%)
治理艺步骤
革新采取"耐腐蚀积淀+独特的膜提取"能力规划:
钙盐奠定
:污泥脱水氯化钙取除氟铁离子(自动生成CaF2沉淀出的)
水解酸化池反應
:组合水解酸化池剂满足电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm钻孔大小膜挪用微细颗粒肥料
反构建控制系统
:脱盐率>98%,收旧率75%
蒸发器沉淀
:浓水段保证 氟化物零排出
后面效果好
氟化物氧浓度:<8mg/L(不超过国度特一级基准10mg/L)
硅含铁:<5mg/L
水资的工业废水处理率:70%用以急冷塔皮肤补水
垃圾减量化:蒸发器杂质量较以往技艺减轻60%