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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

西安某半导体行业集成电路芯片生导致产制作厂,晶圆生产制作方式中导致含硅、氟的特俗电镀污水,定制正确正确处理大规模1200吨/日。电镀污水组成成分繁多,所含纳米级级硅顆粒及盐酸,传统的正确正确处理办法得以合格。 化工废水化学成分及源头 一般生态破坏物 :胶体溶液硅(100-500nm粒级)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇 主要来源工艺流程 :晶圆刻蚀污废渣 (45%)、CMP药剂学机制cnc精密机械加工污废渣 (40%)、机器设备冲干净水(15%) 治理艺步骤 革新采取"耐腐蚀积淀+独特的膜提取"能力规划: 钙盐奠定 :污泥脱水氯化钙取除氟铁离子(自动生成CaF2沉淀出的) 水解酸化池反應 :组合水解酸化池剂满足电解质溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm钻孔大小膜挪用微细颗粒肥料 反构建控制系统 :脱盐率>98%,收旧率75% 蒸发器沉淀 :浓水段保证 氟化物零排出 后面效果好 氟化物氧浓度:<8mg/L(不超过国度特一级基准10mg/L) 硅含铁:<5mg/L 水资的工业废水处理率:70%用以急冷塔皮肤补水 垃圾减量化:蒸发器杂质量较以往技艺减轻60%

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