该厂为8屏幕尺寸晶圆生产加工线模块化的超纯净水系统，经常带来含硅污废水 150吨。污废水 中虽无血本属，但硅占比高易积垢，且电阻器率需高达18MΩ·cm性能造纸废水进行处理。原本的进行处理工学艺没有办法做到新废止的《电子设备鑫霖环保水的固体废弃物废气标准规范》（GB39731-2020）独特废气最大限度。 废水处理工艺的成分优点和缺点 最主要的造成的大气污染物 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、小粒硅（粒级0.1-1μm） 个性化追求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 水质量因素 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质特征复杂性 处置工艺设备环节 企业创新按照"梯级膜脱离+电去阳离子"组装加工过程： 微滤预补救 ：1μm陶瓷制品膜拦住大粒状硅，通量保护80LMH 阳离子交互硅胶粘合剂 ：D201大孔聚酯树脂取舍性活性炭吸附硅酸原子 二级考试RO设计 ：第1段回收并率60%，第五段选取高脱硼膜电子器件 EDI电去阴阳离子 ：电压体积2A/m²，持续性避开残存正离子 紫外光消毒杀菌 ：254nm太阳光的紫外线灭菌灯线含水量40mJ/cm² 技术应用薄弱环节 开放使用阻硅剂（充分胺类混合物），减缓膜空气污染期限3倍 EDI版块转型升级流道设定，硅删去率提拔至99.8% 手机在线硅探讨仪（检测的空间0.1-500μg/L）进行精细管控 执行成效明显 经其次方在线检测： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼分子量从8μg/L调至0.3μg/L 程序回收并率从原40%上升至68% 膜换个期限延长时间至5年，年运营的成本降低35%